红外热像仪应用于半导体制造中快速检测薄膜元件的成膜质量 红外热像仪的应用admin2025年10月11日半导体制造是极为精密的工艺。单片晶圆上可能有上万个甚至上百万个薄膜原件。薄膜元件的成膜质量直接影响着半导体器件…