半导体制造是极致精密的温控产业,温度均匀性、瞬态热点、微区温差直接决定芯片良率、器件稳定性与使用寿命。尤其是伴随着半导体产业向先进制程、第三代半导体的高速迭代与规模化量产,热像仪作为一种非接触式、高精度、高分辨率测温设备,已经贯穿了从晶圆长晶、高温退火、薄膜沉积,到功率器件烧结、芯片失效分析到先进封装热压键合的整个全流程化测温过程。
在半导体行业,有一些测温的共性诉求,主要包括:
- 温域覆盖:半导体行业制程长,环节多,每个环节温度需求差异大;
- 无损检测:芯片制程是高精密过程,所有材料需要进行严格防污染处理;
- 高精度微区测温:分辨 1℃以内微小温差,微米级定位异常热点;
- 抗复杂工况:耐等离子强光、水汽、腔体烟尘、电磁射频干扰,需要专业的测温算法;
- 在线集成:可无缝对接产线自动化系统,实现 7×24 小时不间断监测。
为什么随着半导体产业的发展,为什么中波热像仪(3-5μm波段)成为了这个高精密行业测温的理想选择,可以从从热电偶、铂电阻等传统测温设备以及常规的长波热像仪中脱颖而出呢?
最先被淘汰的是接触式测温系列产品。原因是接触测温易污染洁净晶圆。其实是长波红外高温信号衰减严重、短波红外易受等离子强光干扰,只有3-5μm波段红外热像仪,测温范围集中在50℃-1000℃,可以完美适配半导体行业的硅基/碳化硅基底、真空腔体、等离子环境。

格物优信专为高端制造行业定制的3-5μm窄带中波红外热像仪,精准锁定半导体高温测温黄金波段,50℃-1000℃全域稳定测温,可强抗干扰、超高测温灵敏度、高帧率毫秒级动态捕捉微小温差,全方位覆盖半导体全产业链测温刚需。
格物优信中波热像仪,可覆盖半导体前道、中道、后道全场景测温需求
- 长晶、外延生长监测:实时捕捉籽晶局部温差,保障晶圆基底品质稳定。
- 退火、氧化、扩散、RTP 快速热处理:实时采集整片晶圆温度分布,精准调控升降温曲线。
- 刻蚀、CVD/PVD薄膜沉积:监控腔壁、晶圆载台温度均匀性。
- 晶圆预处理:把控清洗化学反应速率
- 芯片测试与失效分析(中道):精准定位缺陷,加速研发迭代
- 集成电路失效排查:芯片短路、发热故障逆向分析
- 半导体封装测试(后道制程):严控焊接温度,提升器件可靠性
- 热压键合、倒装芯片TCB焊接:精准把控焊料熔融区间,识别虚焊、空洞、局部过热
- 回流焊工艺:低温焊片烧结测温,防止芯片崩裂;
- 成品老化测试:筛选长期工作下易过热的不合格器。
格物优信3-5μm中波热像仪,以专属波段、50℃-1000℃全域精准测温、无损检测、强抗干扰四大核心能力,助力半导体行业降损耗、提良率、缩周期、控成本,有效解决了高端制造领域测温方案的技术短板,成为了工业领域测温的理想选品。






